د سپټرینګ کوټینګ ټیکنالوژۍ ګټې او زیانونه

پدې وروستیو کې ، ډیری کاروونکو د سپټرینګ کوټینګ ټیکنالوژۍ ګټو او زیانونو په اړه پوښتنې کړې ، زموږ د پیرودونکو اړتیاو سره سم ، اوس به د RSM ټیکنالوژۍ څانګې متخصصین له موږ سره شریک کړي ، هیله لري ستونزې حل کړي.شاید لاندې ټکي شتون ولري:

　　1، غیر متوازن میګنیټرون سپټرینګ

فرض کړئ چې د مقناطیسي فلکس د داخلي او خارجي مقناطیسي قطب څخه تیریږي د میګنیټرون سپټرینګ کیتوډ سره مساوي ندي ، دا یو غیر متوازن میګنیټرون سپټرینګ کیتوډ دی.د عادي میګنیټرون سپټرینګ کیتوډ مقناطیسي ساحه د هدف سطحې ته نږدې متمرکزه ده ، پداسې حال کې چې د غیر متوازن میګنیټرون سپټرینګ کیتوډ مقناطیسي ساحه له هدف څخه بهر خپریږي.د عادي میګنیټرون کاتوډ مقناطیسي ساحه د هدف سطحې ته نږدې پلازما په کلکه محدودوي ، پداسې حال کې چې سبسټریټ ته نږدې پلازما خورا ضعیف دی ، او سبسټریټ به د قوي ایونونو او الکترونونو لخوا بمبار نشي.غیر متوازن میګنیټرون کیتوډ مقناطیسي ساحه کولی شي پلازما د هدف له سطحې څخه لرې پراخه کړي او سبسټریټ ډوب کړي.

　　2، د راډیو فریکونسۍ (RF) سپکول

د موصلي فلم زیرمه کولو اصول: منفي پوټینشن په هغه کنډکټر باندې پلي کیږي چې د موصلیت هدف شاته کیښودل کیږي.د ګلو ډیسچارج پلازما کې ، کله چې د مثبت آیون لارښود پلیټ ګړندی شي ، دا د تودوخې لپاره د هغې مخې ته د موصل هدف بمباري کوي.دا تودوخه یوازې د 10-7 ثانیو لپاره دوام کولی شي.له هغې وروسته، د مثبت چارج لخوا رامینځته شوی مثبت ظرفیت چې د موصل هدف باندې راټول شوي منفي پوټینشن د کنډکټر پلیټ کې منفي پوتانسیل ته زیان رسوي، نو د موصل هدف باندې د لوړ انرژی مثبت آئنونو بمبارۍ بندیږي.په دې وخت کې، که چیرې د بریښنا رسولو قطبي بدلون بدل شي، برقیان به د انسول کولو پلیټ بمباري وکړي او د 10-9 ثانیو په اوږدو کې د انسولینګ پلیټ مثبت چارج بې طرفه کړي، د دې احتمالي صفر جوړوي.په دې وخت کې، د بریښنا رسولو د قطبي حالت بیرته راګرځول کولی شي د 10-7 ثانیو لپاره سپټټر تولید کړي.

د RF سپټرینګ ګټې: دواړه فلزي هدفونه او ډایالټریک هدفونه سپک کیدی شي.

　　3، DC magnetron sputtering

د میګنیټرون سپټرینګ کوټینګ تجهیزات د DC سپټرینګ کاتوډ هدف کې مقناطیسي ساحه ډیروي ، د مقناطیسي ساحې لورینټز ځواک کاروي ترڅو په بریښنایی ساحه کې د الکترونونو سرعت وتړي او وغځوي ، د بریښنایی اتومونو او ګاز اتومونو ترمینځ د ټکر چانس ډیروي ، د ګازو د اتومونو د ionization کچه، د لوړ انرژی ایونونو شمیر زیاتوي چې هدف بمباروي او د لوړ انرژی الیکترونونو شمیر کموي چې په تخته شوي سبسټریټ بمباري کوي.

د پلانر میګنیټرون سپټرینګ ګټې:

1. د هدف بریښنا کثافت کولی شي 12w/cm2 ته ورسیږي؛

2. هدف ولتاژ کولای شي 600V ته ورسیږي؛

3. د ګاز فشار کولی شي 0.5pa ته ورسیږي.

د پلانر میګنیټرون سپټرینګ نیمګړتیاوې: هدف د ځغاستې په ساحه کې د سپټرینګ چینل جوړوي، د ټول هدف سطحه اینچنګ غیر مساوي دی، او د هدف د کارولو کچه یوازې 20٪ - 30٪ ده.

　　4، منځنۍ فریکونسۍ AC میګنیټرون سپټرینګ

دا دې ته اشاره کوي چې د متوسط ​​فریکونسۍ AC میګنیټرون سپټرینګ تجهیزاتو کې ، معمولا دوه هدفونه د ورته اندازې او شکل سره څنګ په څنګ تنظیم شوي ، چې ډیری وختونه د دوه ګوني هدفونو په نوم یادیږي.دوی تعلیق شوي تاسیسات دي.معمولا، دوه هدفونه په ورته وخت کې ځواکمن کیږي.د متوسط ​​فریکونسۍ AC میګنیټرون عکس العمل سپټرینګ په پروسه کې ، دوه هدفونه په بدل کې د انود او کیتوډ په توګه عمل کوي ، او دوی په ورته نیمه دوره کې یو بل سره د انود کیتوډ په توګه عمل کوي.کله چې هدف د منفي نیم دورې پوټینشن کې وي، د هدف سطحه بمباریږي او د مثبت آیونونو لخوا توییږي؛په مثبت نیمه دوره کې، د پلازما الکترونونه د هدف سطحې ته ګړندي کیږي ترڅو د هدف سطحې په موصل سطح کې راټول شوي مثبت چارج بې طرفه کړي، کوم چې نه یوازې د هدف سطحې سوځیدنه فشاروي، بلکې د "" پدیده له منځه وړي. د anode ورکیدل".

د منځني فریکونسۍ دوه ګوني هدف عکس العمل لرونکي سپټرینګ ګټې په لاندې ډول دي:

(1) د جمع کولو لوړه کچه.د سیلیکون هدفونو لپاره، د متوسط ​​فریکونسۍ د تعامل وړ سپټرینګ د راټولولو کچه د DC عکس العمل سپټرینګ څخه 10 ځله ده؛

(2) د سپټټر کولو پروسه په ټاکل شوي عملیاتي نقطه کې ثبات کیدی شي؛

(3) د "اوریدلو" پدیده له منځه وړل کیږي.د چمتو شوي انسولینګ فلم نیمګړتیا کثافت د DC عکس العمل سپک کولو میتود څخه لږ شدت لري؛

(4) د سبسټریټ لوړه تودوخه د فلم کیفیت او چپکولو ښه کولو لپاره ګټوره ده؛

(5) که چیرې د بریښنا رسولو هدف د RF بریښنا رسولو په پرتله اسانه وي.

　　5، عکس العمل میګنیټرون سپټرینګ

د تودوخې په پروسه کې، د غبرګون ګاز تغذیه کیږي ترڅو د تودوخې ذراتو سره غبرګون وکړي ترڅو مرکب فلمونه تولید کړي.دا کولی شي عکس العمل ګاز چمتو کړي چې په ورته وخت کې د سپټرینګ مرکب هدف سره عکس العمل وکړي ، او دا کولی شي عکس العمل ګاز هم چمتو کړي چې په ورته وخت کې د سپټرینګ فلز یا مصر هدف سره عکس العمل وکړي ترڅو د ورکړل شوي کیمیاوي تناسب سره مرکب فلمونه چمتو کړي.

د عکس العمل میګنیټرون سپټرینګ مرکب فلمونو ګټې:

(1) په نښه شوي توکي او د تعامل ګازونه کارول شوي اکسیجن، نایتروجن، هایدرو کاربن او نور دي، چې معمولا د لوړ پاکوالي محصولات ترلاسه کول اسانه دي، کوم چې د لوړ پاکوالي مرکب فلمونو چمتو کولو لپاره مناسب دي؛

(2) د پروسې پیرامیټونو تنظیم کولو سره، کیمیاوي یا غیر کیمیاوي مرکب فلمونه چمتو کیدی شي، ترڅو د فلمونو ځانګړتیاوې تنظیم شي؛

(3) د سبسټریټ تودوخه لوړه نه ده، او په سبسټریټ کې لږ محدودیتونه شتون لري؛

(4) دا د لوی ساحې یونیفورم کوټ کولو لپاره مناسب دی او د صنعتي تولید احساس کوي.

د عکس العمل میګنیټرون سپټرینګ په پروسه کې ، د مرکب سپټرینګ بې ثباتي رامینځته کول اسانه دي ، په عمده ډول:

(1) د مرکب هدفونو چمتو کول ستونزمن دي.

(2) د آرک برید (د آرک خارج کیدو) پیښه چې د هدف مسموم کیدو او د تودوخې پروسې بې ثباتۍ له امله رامینځته کیږي؛

(3) د تودوخې د کمولو کچه؛

(4) د فلم د عیب کثافت لوړ دی.