په اوس وخت کې، د IC صنعت لخوا اړین د لوړ پای خورا لوړ پاکیز فلزي مسو هدفونه د ډیری لویو بهرنیو څو ملي شرکتونو لخوا انحصار شوي.د کورني IC صنعت لخوا د مسو ټول الټراپور هدفونه باید وارد شي چې نه یوازې ګران دي بلکه د وارداتو کړنالرې هم پیچلې دي نو له همدې امله چین په سمدستي توګه د خورا لوړ پاکوالي (6N) مسو سپټرینګ هدفونو پراختیا او تصدیق ته اړتیا لري. .راځئ چې د خورا لوړ پاکوالي (6N) مسو سپټرینګ اهدافو په پراختیا کې کلیدي ټکو او ستونزو ته یو نظر وکړو.
1,د خورا لوړ پاکوالي موادو پراختیا
په چین کې د لوړ پاکوالي Cu ، Al او Ta فلزاتو پاکولو ټیکنالوژي د صنعتي پرمختللي هیوادونو څخه لرې ده.په اوس وخت کې ، ډیری لوړ پاکیز فلزات چې چمتو کیدی شي نشي کولی په صنعت کې د دودیز ټول عنصر تحلیل میتودونو سره سم د سپټرینګ اهدافو لپاره د مدغم سرکیټونو کیفیت اړتیاوې پوره کړي.په هدف کې د شاملولو شمیر خورا لوړ یا غیر مساوي ویشل شوی.ذرات اکثرا د تودوخې په جریان کې په ویفر کې رامینځته کیږي ، چې په پایله کې د شارټ سرکټ یا د یو بل سره تړل شوي خلاص سرکټ رامینځته کیږي ، کوم چې د فلم فعالیت په جدي ډول اغیزه کوي.
2,د مسو سپټرینګ هدف چمتو کولو ټیکنالوژۍ پراختیا
د مسو سپټرینګ هدف چمتو کولو ټیکنالوژۍ پراختیا په عمده توګه په دریو اړخونو تمرکز کوي: د غلو اندازه، د سمت کنټرول او یونیفورم.د سیمی کنډکټر صنعت د هدفونو تودوخې او د خامو موادو تبخیر کولو لپاره ترټولو لوړې اړتیاوې لري.دا د سطحې دانې اندازې کنټرول او د هدف کرسټال سمت لپاره خورا سخت اړتیاوې لري.د هدف دانې اندازه باید په 100 کې کنټرول شيμ M لاندې، له همدې امله، د غلو د اندازې کنټرول او د ارتباط تحلیل او کشف وسیله د فلزي اهدافو د پراختیا لپاره خورا مهم دي.
3,د تحلیلونو پراختیا اوازموینه ټیکنالوژي
د هدف لوړ پاکوالی د ناپاکۍ کمولو معنی لري.په تیرو وختونو کې، د ناپاکۍ د ټاکلو لپاره د انډکټیو سره یوځای شوي پلازما (ICP) او د اټومي جذب سپیکرومیټري کارول کیده، مګر په وروستیو کلونو کې، د لوړ حساسیت سره د ګلو خارج کولو کیفیت تحلیل (GDMS) په تدریجي ډول د معیار په توګه کارول کیږي. طریقه.د پاتې مقاومت تناسب RRR میتود په عمده ډول د بریښنایی پاکوالي ټاکلو لپاره کارول کیږي.د دې د ټاکلو اصل دا دی چې د ناپاکۍ د بریښنایی توزیع درجې اندازه کولو سره د اساس فلزاتو پاکوالي ارزونه وکړي.ځکه چې دا د خونې د تودوخې او خورا ټیټ تودوخې مقاومت اندازه کول دي، د شمیر اخیستل خورا ساده دي.په وروستیو کلونو کې، د فلزاتو د جوهر سپړلو لپاره، د خورا لوړ پاکوالي په اړه څیړنې خورا فعالې دي.په دې حالت کې، د RRR ارزښت د پاکوالي ارزولو غوره لاره ده.
د پوسټ وخت: می-06-2022