ټنګسټن سیلیکایډ
ټنګسټن سیلیکایډ
ټنګسټن سلیکایډ WSi2 په مایکرو الیکټرونیکونو کې د بریښنایی شاک موادو په توګه کارول کیږي ، د پولیسیلیکون تارونو شنټ کول ، د اکسیډیشن ضد کوټینګ او د مقاومت تار کوټ کول.ټنګسټن سلیکایډ په مایکرو الیکترونیک کې د تماس موادو په توګه کارول کیږي، د 60-80μΩcm مقاومت سره.دا په 1000 ° C کې رامینځته کیږي.دا معمولا د پولیسیلیکون لاینونو لپاره د شونټ په توګه کارول کیږي ترڅو د دې چلښت ډیر کړي او د سیګنال سرعت ډیر کړي.د ټنګسټن سیلیکایډ طبقه د کیمیاوي بخارونو د زیرمو له لارې چمتو کیدی شي لکه د بخار جمع کول.monosilane یا diclorosilane او tungsten hexafluoride د خامو موادو ګاز په توګه وکاروئ.زیرمه شوی فلم غیر سټوچیومیټریک دی او اینیل کولو ته اړتیا لري ترڅو په ډیر کنډک سټوچیومیټریک شکل بدل شي.
د ټنګسټن سلسایډ کولی شي د پخوانی ټنګسټن فلم ځای په ځای کړي.ټنګسټن سیلیکسایډ د سیلیکون او نورو فلزاتو تر مینځ د خنډ پرت په توګه هم کارول کیږي.
د ټنګسټن سیلیکایډ په مایکرو الیکټرو میخانیکي سیسټمونو کې هم خورا ارزښت لري ، چې له دې جملې څخه ټنګسټن سلیکایډ په عمده ډول د مایکرو سرکیټونو جوړولو لپاره د پتلي فلم په توګه کارول کیږي.د دې هدف لپاره، د ټنګسټن سلیکایډ فلم د پلازما سره ایچ کیدی شي، د بیلګې په توګه، سلیکایډ.
| ITEM | کیمیاوي جوړښت | |||||
| عنصر | W | C | P | Fe | S | Si |
| منځپانګه (wt٪) | 76.22 | 0.01 | 0.001 | 0.12 | 0.004 | بیلانس |
بډایه ځانګړي توکي د سپټرینګ هدف په تولید کې تخصص لري او کولی شي د پیرودونکو ځانګړتیاو سره سم د ټنګسټن سلیسیډ سپټرینګ توکي تولید کړي.د لا زیاتو معلوماتو لپاره، مهرباني وکړئ موږ سره اړیکه ونیسئ.
